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Chiller 雙變頻

  • 溫控精度±0.1℃
  • 溫度范圍-30℃~40℃
  • 泵壓力6bar max
  • 內(nèi)循環(huán)液容積8L
  • 電源 220V 50/60HZ

半導(dǎo)體投入大,制造工序多,為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益,需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控,影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度,溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要,為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗,我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù),有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

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Chiller低溫復(fù)疊制冷系列 http://www.kaile11.cn/xinpian/chiller-diwenfudiezhilengxilie.html http://www.kaile11.cn/xinpian/chiller-diwenfudiezhilengxilie.html#respond Sun, 08 Oct 2023 06:17:46 +0000 https://cnzlj.com/xinpian/chiller-diwenfudiezhilengxilie.html

Chiller低溫復(fù)疊制冷系列

  • 溫控精度±0.1℃
  • 溫度范圍-80℃~+80℃
  • 內(nèi)循環(huán)液容積4L~10L
  • 膨脹罐容積10L~20L
  • 電源 380V 50HZ

半導(dǎo)體投入大,制造工序多,為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益,需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控,影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度,溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要,為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗,我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù),有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
溫度范圍 ?-80℃~+90℃
控溫精度 ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
流量/壓力 MAX 7~25L/min? 5bar 12~45L/min 6bar
制冷量at-70℃ 0.6kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW
加熱功率 2kW 2kW 2kW 3.5kW 3.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L
導(dǎo)熱介質(zhì) 氟化液
進出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷卻水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃ 1.8m3/H 2.5m3/H 3m3/H 5m3/H 6m3/H
斷路器 25A 25A 32A 40A 50A
?藝過程溫度控制 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫)
型號FLTZ-1002WFLTZ-1004W
溫度范圍 -100℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
流量 MAX7~25L/min12~45L/min
制冷量at-90℃1.5kW3kW
加熱功率3.5kW5.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積5L8L
膨脹罐容積10L15L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口Rc3/4Rc3/4
冷卻水接口Rc3/4Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃50L/min 2bar~7bar100L/min 2bar~7bar
斷路器32A63A
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫)

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Chiller 換熱型 系統(tǒng)無壓縮機 http://www.kaile11.cn/xinpian/chiller-huanrexing-xitongwuyasuoji.html http://www.kaile11.cn/xinpian/chiller-huanrexing-xitongwuyasuoji.html#comments Sun, 08 Oct 2023 06:17:25 +0000 https://cnzlj.com/xinpian/chiller-huanrexing-xitongwuyasuoji.html

Chiller 換熱型 系統(tǒng)無壓縮機

  • 冷卻能力5KW~30KW
  • 溫度范圍冷卻水溫度+5℃~90℃ ±0.3℃
  • 儲罐容積6L~15L
  • 尺寸480*750*390/480*750*500

半導(dǎo)體投入大,制造工序多,為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益,需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控,影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度,溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要,為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗,我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù),有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號

ETCU-005W

ETCU-008W

ETCU-015W

ETCU-030W

溫度范圍

冷卻水溫度?+5℃~90℃?±0.3℃

冷卻水溫度

7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量

冷卻能力

5kw

8kw

15kw

30kw

?

測試條件:zui大循環(huán)量時,控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃

循環(huán)泵流量

7~20L/min 5bar

7~20L/min 5bar

15~40L/min 5bar

20~60L/min 5bar

儲罐容積

6L

8L

10L

15L

尺寸

480*750*390

480*750*390

480*750*390

480*750*500

電源

220V 50HZ/60hz?0.6kw

220V 50HZ/60hz1.3kw

220V 50HZ/60hz 1.6kw

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半導(dǎo)體 chiller 常規(guī)型 http://www.kaile11.cn/xinpian/chiller-zhilengxing.html http://www.kaile11.cn/xinpian/chiller-zhilengxing.html#respond Sun, 08 Oct 2023 06:17:00 +0000 https://cnzlj.com/xinpian/chiller-zhilengxing.html

半導(dǎo)體 chiller 常規(guī)型

  • 溫控精度±0.5℃控制蒸發(fā)溫度
  • 溫度范圍-40℃~-15℃
  • 制冷@-35℃0.5KW~4KW
  • 制冷劑R404A可選配R507C R448
  • 電源 220V 50HZ

半導(dǎo)體投入大,制造工序多,為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益,需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控,影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度,溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要,為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。

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型號FLTZ-002
FLTZ-002W
FLTZ-003
FLTZ-003W
FLTZ-004
FLTZ-004W
FLTZ-006
FLTZ-006W
FLTZ-008
FLTZ-008W
FLTZ-010
FLTZ-010W
FLTZ-015
FLTZ-015W
溫度范圍5℃~90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
制冷量at10℃6kW8kW10kW15kW20kW25kW40kW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等(純凈水溫度需要控制10℃以上)
進出接口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1
冷卻水口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc1Rc1Rc1Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫)
外形尺寸 cm97*40*10897*40*10897*40*108105*43*140105*43*140108*60*150108*60*150

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chiller 直冷型 http://www.kaile11.cn/xinpian/chiller-%e7%9b%b4%e5%86%b7%e5%9e%8b.html http://www.kaile11.cn/xinpian/chiller-%e7%9b%b4%e5%86%b7%e5%9e%8b.html#respond Thu, 10 Aug 2023 07:13:26 +0000 http://www.kaile11.cn/?p=8177

chiller 直冷型

  • 溫控精度±0.5℃控制蒸發(fā)溫度
  • 溫度范圍-40℃~-15℃
  • 制冷@-35℃0.5KW~4KW
  • 制冷劑R404A可選配R507C R448
  • 電源 220V 50HZ

型號ZLJ-41.0ZLJ-41.5ZLJ-42ZLJ-43ZLJ-44ZLJ-46ZLJ-48
ZLJ-41.0WZLJ-41.5WZLJ-42WZLJ-43WZLJ-44WZLJ-46WZLJ-48W
溫度范圍-40℃~-15℃
控溫精度±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度
制冷AT-35℃0.5kw0.7kw1kw1.6kw2.1kw3.2kw4kw
制冷劑R404A 可選配R507C R448
高溫降溫具備高溫150度直接降溫技術(shù),滿足目標(biāo)在高溫運行時迅速進行降溫能力
電源220V 50HZ380V 50HZ 可定制220V
斷路器6A6A10A6A10A16A16A
型號ZLJ-81.0ZLJ-81.5ZLJ-82ZLJ-83ZLJ-84ZLJ-86ZLJ-88
ZLJ-81.0WZLJ-81.5WZLJ-82WZLJ-83WZLJ-84WZLJ-86WZLJ-88W
溫度范圍-80℃~-50℃
控溫精度±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度
制冷AT-70℃0.37kw0.5kw0.75kw1.1kw1.5kw2.6kw3.1kw
制冷劑R404A/R508B
高溫降溫具備高溫150度直接降溫技術(shù),滿足目標(biāo)在高溫運行時迅速進行降溫能力
電源220V 50HZ380V 50HZ 可定制220V
斷路器10A16A25A16A16A25A32A

型號SLJ-3WSLJ-4WSLJ-6WSLJ-11W
溫度范圍-150℃~-110℃
制冷AT-120℃3KW4KW6KW11KW
制冷AT-135℃2.5KW3.3KW5KW9KW
制冷劑LNEYA -150混合制冷劑
電源380V 50HZ
斷路器25A32A50A80A
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