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半導(dǎo)體投入大,制造工序多,為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益,需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控,影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度,溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要,為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。
冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗,我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù),有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導(dǎo)體高低溫測試?yán)渌畽C,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應(yīng)用
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半導(dǎo)體投入大,制造工序多,為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益,需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控,影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度,溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要,為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。
冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗,我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù),有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。
| 型號 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 溫度范圍 | ?-80℃~+90℃ | ||||
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) | ||||
| 流量/壓力 MAX | 7~25L/min? 5bar | 12~45L/min 6bar | |||
| 制冷量at-70℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 加熱功率 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||||
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 1.8m3/H | 2.5m3/H | 3m3/H | 5m3/H | 6m3/H |
| 斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫) | ||||
| 型號 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 溫度范圍 | -100℃~+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) | |
| 流量 MAX | 7~25L/min | 12~45L/min |
| 制冷量at-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| 加熱功率 | 3.5kW | 5.5kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 5L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 15L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| 斷路器 | 32A | 63A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫) | |
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導(dǎo)體高低溫測試?yán)渌畽C,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應(yīng)用
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半導(dǎo)體投入大,制造工序多,為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益,需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控,影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度,溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要,為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。
冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗,我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù),有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。
|
型號 |
ETCU-005W |
ETCU-008W |
ETCU-015W |
ETCU-030W |
|
溫度范圍 |
冷卻水溫度?+5℃~90℃?±0.3℃ |
|||
|
冷卻水溫度 |
7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調(diào)節(jié)閥控制冷卻水流量 |
|||
|
冷卻能力 |
5kw |
8kw |
15kw |
30kw |
| ? |
測試條件:zui大循環(huán)量時,控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃ |
|||
|
循環(huán)泵流量 |
7~20L/min 5bar |
7~20L/min 5bar |
15~40L/min 5bar |
20~60L/min 5bar |
|
儲罐容積 |
6L |
8L |
10L |
15L |
|
尺寸 |
480*750*390 |
480*750*390 |
480*750*390 |
480*750*500 |
|
電源 |
220V 50HZ/60hz?0.6kw |
220V 50HZ/60hz1.3kw |
220V 50HZ/60hz 1.6kw |
|
溫控精度±0.5℃/±1℃壓縮機法國泰康/艾默生谷輪漩渦壓縮機制冷劑R404A/R23/R508B/R14節(jié)流方式電子膨脹閥蒸發(fā)器板式換熱器電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V
帶有穩(wěn)定的氣體冷卻以及配套的冷卻機提供一個寬泛的測試溫度范圍
半導(dǎo)體高低溫測試?yán)渌畽C,變溫速率快,實時監(jiān)測待測元件真實溫度
氣體冷卻器,冷卻氮氣,氬氣和其他氣體的冷卻器,用于各種氣體過程冷卻應(yīng)用
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冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗,我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù),有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。
| 型號 | FLTZ-002 FLTZ-002W | FLTZ-003 FLTZ-003W | FLTZ-004 FLTZ-004W | FLTZ-006 FLTZ-006W | FLTZ-008 FLTZ-008W | FLTZ-010 FLTZ-010W | FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 溫度范圍 | 5℃~90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) | ||||||
| 制冷量at10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R410A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等(純凈水溫度需要控制10℃以上) | ||||||
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標(biāo)溫度(動態(tài)控溫) | ||||||
| 外形尺寸 cm | 97*40*108 | 97*40*108 | 97*40*108 | 105*43*140 | 105*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |

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| 型號 | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| 溫度范圍 | -40℃~-15℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度 | ||||||
| 制冷AT-35℃ | 0.5kw | 0.7kw | 1kw | 1.6kw | 2.1kw | 3.2kw | 4kw |
| 制冷劑 | R404A 可選配R507C R448 | ||||||
| 高溫降溫 | 具備高溫150度直接降溫技術(shù),滿足目標(biāo)在高溫運行時迅速進行降溫能力 | ||||||
| 電源 | 220V 50HZ | 380V 50HZ 可定制220V | |||||
| 斷路器 | 6A | 6A | 10A | 6A | 10A | 16A | 16A |
| 型號 | ZLJ-81.0 | ZLJ-81.5 | ZLJ-82 | ZLJ-83 | ZLJ-84 | ZLJ-86 | ZLJ-88 |
| ZLJ-81.0W | ZLJ-81.5W | ZLJ-82W | ZLJ-83W | ZLJ-84W | ZLJ-86W | ZLJ-88W | |
| 溫度范圍 | -80℃~-50℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度 | ||||||
| 制冷AT-70℃ | 0.37kw | 0.5kw | 0.75kw | 1.1kw | 1.5kw | 2.6kw | 3.1kw |
| 制冷劑 | R404A/R508B | ||||||
| 高溫降溫 | 具備高溫150度直接降溫技術(shù),滿足目標(biāo)在高溫運行時迅速進行降溫能力 | ||||||
| 電源 | 220V 50HZ | 380V 50HZ 可定制220V | |||||
| 斷路器 | 10A | 16A | 25A | 16A | 16A | 25A | 32A |
| 型號 | SLJ-3W | SLJ-4W | SLJ-6W | SLJ-11W |
| 溫度范圍 | -150℃~-110℃ | |||
| 制冷AT-120℃ | 3KW | 4KW | 6KW | 11KW |
| 制冷AT-135℃ | 2.5KW | 3.3KW | 5KW | 9KW |
| 制冷劑 | LNEYA -150混合制冷劑 | |||
| 電源 | 380V 50HZ | |||
| 斷路器 | 25A | 32A | 50A | 80A |
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